真空中放置 對電 ，加上高壓時，在 定的電壓下也會產生電 之間的電擊穿。它的擊穿與空氣中的電擊穿有很大不同。

  空氣中的擊穿是由于氣體中的少量自由電子在電場作用下高速度運動，與氣體分子碰撞產生較多的電子和離子，新生的電子和離子又同中性原子碰撞，產生更多的電子和離子。羅茨風機

  這種雪崩式的電離過程，在電 間形成了放電通道，產生了電弧。而真空中，由于壓強較低，氣體分子 少，在這樣的環境中，即使電 間隙中存在著電子，它們從 個電 飛向另 個電 時，也很少有機會與氣體分子碰撞。

  因而不可能有電子和氣體分子碰撞造成雪崩式的電擊穿。正是因為氣體分子十分稀少，真空間隙電擊穿需要在非常高的電壓下出現場致發射等其它現象時才有可能形成。

  從理論上推測，電場強度需達到108V/cm以上時才會造成電擊穿，實際上真空間隙的絕緣強度由于 系列不利因素例如電 表面粗糙度、潔凈度等的影響，將低于理論計算值幾個數量 。

　　真空滅弧室中的真空度很高， 般為10-3～10-6 帕，此時真空間隙的絕緣強度遠遠高于1 個大氣壓的空氣和SF6 的絕緣強度，比變壓器油的絕緣強度還要高。

  正因為真空的絕緣強度很高，真空滅弧室中的所有電氣間隙都可以做得很小。

例如12kV 真空滅弧室的觸頭開距只有8～12mm，40.5kV 真空滅弧室的觸頭開距也只要18～25mm，真空滅弧室中的其它電氣間隙也在此尺度范圍。